ASML stürzt ab: China startet Bau eigener DUV-Anlagen für Chip-Fertigung

Ein staatseigenes chinesisches Unternehmen hat laut informierten Quellen mit der Serienfertigung von Anlagen zum Bau von Halbleiterprodukten auf Basis der sogenannten Deep-Ultraviolet-Technologie (DUV) begonnen. Für den europäischen Marktführer ASML brachte dies einen Einbruch des Aktienkurses.

Unbekannte Firma soll DUV-Anlagen in Serie bauen

China arbeitet weiter darauf hin, sich aus der Abhängigkeit von westlichen Anbietern und damit auch politischen Eingriffen durch die USA und Europa zu befreien, wenn es um die Fertigung von hochmodernen Halbleiterprodukten geht. Jetzt hat man offenbar einen weiteren Meilenstein erreicht.

Laut einem Bericht des US-Magazins The Information hat eine in Shenzhen ansässige Firma mit der Serienfertigung von DUV-Anlagen begonnen. Dabei handelt es sich um Anlagen, mit denen die sogenannte DUV-Lithografie ermöglicht wird, also das Belichten von Wafern mittels ultraviolettem Licht in bestimmten Wellenlängen, um so Transistoren mit geringer Strukturbreite zu schaffen.

Neue Anlagen noch 2026 bei SMIC und CXMT im Einsatz?

Bisher ist offen, um welche Firma es sich handelt. Angeblich will das Unternehmen in diesem Jahr zunächst fünf DUV-Lithografie-Systeme bauen, bevor im nächsten Jahr eine Steigerung der Stückzahl auf mindestens 20 Einheiten geplant ist. Die in diesem Jahr gefertigten DUV-Anlagen sollen an chinesische Chiphersteller wie SMIC, CXMT und Huahong Semiconductor ausgeliefert werden.

Die DUV-Systeme aus chinesischer Fertigung können zwar nicht so geringe Strukturbreiten ermöglichen wie die moderneren sogenannten EUV-Anlagen (Extreme Ultraviolet) von westlichen Herstellern wie ASML, die Chinesen finden allerdings mittlerweile zunehmend Wege, um trotz größerer physischer Strukturbreiten eine höhere Transistordichte zu erzielen.

Die Nachricht vom Beginn der Serienfertigung chinesischer DUV-Anlagen war für ASML trotz vieler offener Fragen bereits folgenschwer. Der Aktienkurs des niederländischen Unternehmens brach zwischenzeitlich um gut acht Prozent ein. Der Umstand, dass die chinesischen Anlagen aktuell wohl nicht die gleiche Ausbeute und Qualität erreichen, die ASML-Anlagen auch im Bereich der DUV-Lithografie ermöglichen, spielt für die Börsianer anscheinend kaum eine Rolle.


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