Streit um 'Schlamm' droht Intel in der Chipkrise hart zu treffen

Ein Streit um ein Patent auf Polierschlamm könnte nach Auffassung des US-Chipgiganten Intel für das Unternehmen und die Halbleiterindustrie in den USA den Super-GAU in der Chipkrise zur Folge haben. Das Unternehmen will ein Import-Verbot um jeden Preis verhindern. Laut dem US-Wirtschaftsdienst Bloomberg drohen Intel und anderen amerikanischen Chipherstellern massive Probleme, die zusätzlich zur andauernden Chipkrise die Fertigung ihrer Produkte in den Vereinigten Staaten ausbremsen könnten. Es geht um nichts anderes als Schlamm, allerdings um spezielle Schlämme, mit denen die Oberflächen von Chip-Wafern poliert werden.

Chemischer Brei schleift Chipoberflächen glatt

Derzeit droht ein Einfuhrverbot für eine bestimmte Art von sogenannten Chemical Mechanical Planarization Slurries (CMP), die von einem Unternehmen namens Rohm & Haas, das zum US-Chemiekonzern DuPont gehört, in Taiwan und Japan produziert und unter dem Markennamen Optiplane vertrieben werden. Die Produkte sollen gegen Patente des US-Konzerns CMC Materials bzw. dessen Tochterfirma Cabot Microelectronics verstoßen, die vor der amerikanischen International Trade Commission (ITC) ein Einfuhrverbot für den US-Markt beantragt hat.

Cabot bietet selbst eigene Polierschlämme an, mit denen durch darin enthaltene Sandpartikel die Oberflächen von Halbleiterprodukten geglättet werden können. Das Unternehmen hatte bereits im Juli 2021 ein Gerichtsurteil erwirkt, laut dem der Konkurrent DuPont mit seinen in Asien produzierten Erzeugnissen gegen bestimmte Patente verstößt. DuPont konnte das Gericht nicht davon überzeugen, dass die Patente ungültig sind.

Intel nutzt bisher die in Asien produzierten Polierschlämme und behauptet nun, dass man einige Zeit benötigt, um die Umstellung auf patentrechtlich unproblematische Alternativen durchzuführen. Als Grund nennt das Unternehmen, dass die chemischen Schlämme anderer Hersteller durch minimale Unterschiede bereits starke Veränderungen in der Bearbeitung der Materialien zur Folge haben.

Die US-ITC sollte eigentlich bereits gestern eine endgültige Entscheidung über das Importverbot fällen. Intel versucht jedoch eine Übergangsfrist von ganzen zwei Jahren zu erwirken. Mittlerweile hat die ITC ihr Urteil auf den 16. Dezember verschoben, nannte aber keine Details zu den Gründen.