Samsung: Erstes reines EUV-Werk für 7 bis 3 Nanometer ist fertig

Samsung hat es endlich geschafft und startet in einer komplett neuen EUV-Fabrik mit der Massen-Produktion von 7-Nanometer-Architekturen. Das Werk ist bereits darauf ausgelegt, bei den Designs auf Struktur­weiten bis 3 Nanometer herunterzukommen.
Infografik EUV: Neues Licht für schnelle Chips
Mit dem Bau der neuen Fabrik hatte Samsung bereits vor zwei Jahren begonnen. Nach einer Investition von bisher rund 6 Milliarden Dollar kann man nun damit beginnen, auch Einnahmen zu erzielen. Dies zeigt, wie schwierig der Umgang mit der neuesten Prozesstechnologie inzwischen ist. Es ist kleineren Unternehmen im Grunde kaum möglich, in der Fertigung auf vergleich­barem Niveau mitzuhalten - schlicht weil man gar nicht in der Lage wäre die Investitionen zu stemmen.

Daher konzentriert sich ein immer größerer Teil der Halbleiter-Produktion bei wenigen großen Werksbetreibern und auch Samsung ist schon lange dazu übergegangen, auch als Auftrags­fertiger tätig zu sein. Dem dürfte auch die Kapazität der neuen Fabrik dienen. Denn die V1 genannte Anlage soll in der Lage sein, die Kapazitäten zur Herstellung von 7-Nanometer-Chips zu verdreifachen. Das wird allerdings erst gegen Ende dieses Jahres der Fall sein, wenn sich die neue Fabrik ihrer vollen Leistungsfähigkeit annähert.

Erste reine EUV-Anlage

Die V1 ist Samsungs erste Fertigungslinie, in der ausschließlich Lithographie-Maschinen arbeiten, die mit extrem-ultraviolettem Licht (EUV) funktionieren. In den anderen Werken stellten diese bisher lediglich die High End-Ergänzungen zu den normalen Systemen dar, mit denen man allerdings nur bis 10 Nanometer herunterkam.

Durch die Konzentration auf EUV-Prozesse kann das neue Werk in diesem Bereich wesentlich effizienter arbeiten. Das ist auch unbedingt nötig, damit Samsung in annehmbarer Zeit auf einen Stand kommt, an dem sich die enormen Investitionen auch bezahlt machen. Als wei­te­rer großer Anbieter im EUV-Bereich ist aktuell nur TSMC zu nennen. Auch der Auftrags­fertiger investiert Milliardenbeträge in entsprechende Anlagen. Aber auch Intel hofft, bald nachziehen zu können.

Siehe auch: Samsung verschickt schon Design-Kits für 3-Nanometer-Chips Prozessor, Chip, Wafer cesweb.org