Großeinkauf: China hortet hunderte ASML-Chipmaschinen

China hat sich in den vergangenen Jahren offenbar einen großen Bestand an modernen Lithografiesystemen von ASML gesichert. Mit diesen können zwar nicht die allermodernsten, aber doch ziemlich fortschrittliche Chips produziert werden.

Viele 7-nm-Anlagen

Nach einer Analyse des Centre for Technology & Statecraft (CTS), die dem US-Magazin Toms Hardware vorliegt, verfügten chinesische Chiphersteller Anfang 2026 über insgesamt rund 343 Immersions-DUV-Anlagen. Ein erheblicher Teil davon könnte demnach zur Fertigung von Chips mit Strukturbreiten im 7-Nanometer-Bereich eingesetzt werden.

Die Analyse ist vor dem Hintergrund der US-amerikanischen Exportbeschränkungen für moderne Halbleitertechnik besonders relevant. China kann aufgrund der Sanktionen keine der fortschrittlicheren EUV-Lithografiesysteme von ASML beziehen. Immersions-DUV-Technik gilt zwar als weniger leistungsfähig, lässt sich laut CTS aber mit einigem Aufwand auch für anspruchsvollere Fertigungsprozesse einsetzen.


Von den insgesamt 343 seit 2012 nach China gelieferten Anlagen entfallen laut dem Bericht 270 auf ASMLs Twinscan NXT:1980i. Das System erreicht eine Auflösung von 38 Nanometern und eine Matched-Machine-Overlay-Genauigkeit von 2,5 Nanometern. Letztere ist insbesondere für Multipatterning-Verfahren wichtig, mit denen sich Strukturen unterhalb der eigentlichen optischen Auflösungsgrenze erzeugen lassen. Zusätzlich sollen chinesische Fabriken über 22 NXT:2050i und sechs NXT:2000i verfügen. Unklar ist allerdings, wie viele dieser insgesamt 296 leistungsfähigeren Systeme tatsächlich noch in Betrieb sind.

Großeinkäufe in den letzten Jahren

Besonders intensiv soll China in den Jahren 2024 und 2025 eingekauft haben. CTS schätzt, dass chinesische Unternehmen in diesem Zeitraum rund 90 beziehungsweise 89 NXT:1980i-Systeme bezogen und dafür mehr als 11,6 Milliarden Euro ausgegeben haben. Diese Zahlen lassen sich anhand der veröffentlichten ASML-Geschäftsdaten allerdings nicht unabhängig überprüfen. Sie passen grundsätzlich zur außergewöhnlich hohen Bedeutung Chinas für den niederländischen Konzern: 2024 entfielen 41 Prozent und 2025 noch 33 Prozent der ausgelieferten Systeme auf das Land.

Die Niederlande hatten bereits 2023 Exportgenehmigungen für die leistungsfähigeren NXT:2000i und neuere Immersions-DUV-Systeme eingeführt. Seit September 2024 gelten entsprechende Beschränkungen auch für die NXT:1980i, einzelne Lieferungen können jedoch weiterhin genehmigt werden.

CTS sieht darin eine Lücke der bisherigen Exportkontrollen. Die Organisation schlägt deshalb vor, sämtliche Immersions-DUV-Systeme von Exporten nach China auszunehmen und zusätzlich Ersatzteile sowie Wartungsleistungen für Anlagen in fortschrittlichen Fabriken zu beschränken. Damit soll verhindert werden, dass ältere, ursprünglich für weniger anspruchsvolle Prozesse beschaffte Maschinen nachträglich für moderne Chipfertigung eingesetzt werden.

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