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Also Carl Zeiss forscht schon seit 1990 an EUVL und hat 2004 die erste Anlage bei einem Chiphersteller installiert. Steht auf der HP
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Fraunhofer: Grundlage für sehr kleine Chip-Struktur
Also Carl Zeiss forscht schon seit 1990 an EUVL und hat 2004 die erste Anlage bei einem Chiphersteller installiert. Steht auf der HP